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超高真空排氣系統

應用於光探測器用電子玻璃材料、 紅外線感應器等光電子玻璃產品的制造。

技術規格:

1、多工位：6-20工位

2、極限真空度：被抽工件極限達到10 Pa 3、純無油系統，帶溫控、烘箱加熱

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超高真空排气系统.png
红外光敏元件.png
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